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伯东企业(上海)有限公司

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美国 KRi 离子源常见工艺应用

询盘留言|投诉|申领|删除 产品编号:560853290                    更新时间:2023-07-10
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  • 主营业务:真空设备,冷冻机,检漏仪,真空泵
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KRi 离子源常见工艺应用 通过使用上海伯东美国 KRi 离子源可以对材料进行加工, 真空环境下, 实现沉积薄膜, 干式蚀刻和材料表面改性等工艺.

KRI离子源

KRI离子源

 

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产宽束离子源, 根据设计原理分为考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项利. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 和离子束抛光工艺 IBF 等领域, 上海伯东是美国 KRi考夫曼公司离子源中国总代理.  

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