| 企业等级： | 普通会员 |
| 经营模式： | 招商代理 |
| 所在地区： | 上海 上海市 |
| 联系卖家： | 叶女士 先生 |
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| 公司地址： | 上海浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室 |
某品牌 Sputtering + E-Beam PVD 镀膜机系统采用 HVA 真空阀门 11000, HVA 真空阀门安装在分子泵口便于泵的检修,同时外系统停机时不破坏系统真空, 只要对泵内部进行破真空即可.
E-Beam 镀膜机设备组成: 系统主要由蒸发室, 电子, 进样室 (可选) , 旋转基片加热台, 工作气路, 抽气系统, 真空测量, 电控系统及安装机台等部分组成.
基片在做实验前一般需要做镀前预处理, 镀前预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面, 为
获得高质量镀层作准备, 要进行脱脂, 去锈蚀, 去灰尘等工作, 也有客户在 LOADLOCK 腔进行射频反应清洗, 通过使用上海伯东 KRI 离子源将基片的表层打掉, 得到更光滑和均匀的表面.
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